株式会社ワイディー・メカトロソリューションズ

高精度スプレーコーター STSシリーズ

NVD塗布システム
独自のメカニズムで精密な流量制御が可能な液送部と、微少流量でも塗布が可能な特殊構造ノズルを組み合わせた、高精度のスプレーコーター。
塗布液の無駄を少なくし、お客様の生産性向上に大きく寄与します。
塗布対象サイズにより、装置ラインナップを用意しています。

○膜厚均一性：±10％程度

○数mmの薄膜成膜から、数十µmの成膜まで、様々な成膜プロセスへの適用が可能です。

○液の粘度に依存しない流量制御方式で、安定した塗布が可能です。（粘度範囲：Max-20cp程度）

○材料効率は一般的なスプレーの2倍以上で、材料の使用量を抑えられます。

○微粒子を含む液も対応可能です。

○塗布実績材料