事業概要

液晶パネル用タイトラー
高精度スプレーコーター STSシリーズ


NVD塗布システム
独自のメカニズムで精密な流量制御が可能な液送部と、微少流量でも塗布が可能な特殊構造ノズルを組み合わせた、高精度のスプレーコーター。
塗布液の無駄を少なくし、お客様の生産性向上に大きく寄与します。
塗布対象サイズにより、装置ラインナップを用意しています。

仕様

標準モデル STS-200 STS-600 STS-1500
対象基板サイズ(mm) 200×200 550×650 1,100×1,400
装置サイズ(mm) 700×800×1,700 1,400×1,100×1,700 2,400×2,550×1,900
ヘッド数 1 最大4
ノズル消費窒素 Max12L/min Max12L/min・1ヘッド
塗布液消費量 Max10cc/min Max10cc/min・1ヘッド
定格電圧 AC三相200V-20A AC三相200V-40A
エアー系統 0.6~0.8MPa (標準は窒素ガス仕様)

搬送機構、焼成装置、UV洗浄装置などを装備した、自動化対応も可能です。
ステージの加熱、吸着等のカスタマイズにも対応します。