| 標準モデル |
STS-200 |
STS-600 |
STS-1500 |
| 対象基板サイズ(mm) |
200×200 |
550×650 |
1,100×1,400 |
| 装置サイズ(mm) |
700×800×1,700 |
1,400×1,100×1,700 |
2,400×2,550×1,900 |
| ヘッド数 |
1 |
最大4 |
| ノズル消費窒素 |
Max12L/min |
Max12L/min・1ヘッド |
| 塗布液消費量 |
Max10cc/min |
Max10cc/min・1ヘッド |
| 定格電圧 |
AC三相200V-20A |
AC三相200V-40A |
| エアー系統 |
0.6~0.8MPa (標準は窒素ガス仕様) |
搬送機構、焼成装置、UV洗浄装置などを装備した、自動化対応も可能です。
ステージの加熱、吸着等のカスタマイズにも対応します。
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